AQ石英玻璃系列是基於AGC長久以來在精密玻璃、精密陶瓷的研發技術中所培育出的先進材料,以高純度、高品質、高機能的特性,應用在與時俱進的半導體製程或光學元件等領域。 AQ石英玻璃系列因為使用VAD法生產,實現了降低Si-OH含有率,並擁有下述許多優異特性。
Chemical constitution |
SiO2 |
wt(%) |
100 |
Thermal properties |
CTE |
ppm/K (50 to 200℃) |
0.6 |
Softening Point |
℃ |
1600 |
|
Annealing Point |
℃ |
1120 |
|
Strain Point |
℃ |
1060 |
|
Optical properties |
Refractive Index |
nD |
1.46 |
Chemical |
Acid Resistance |
mg/cm2 |
0.000 |
Chemical properties |
Alkali Resi |
mg/cm2 |
0.032 |
Mechanical properties |
Density |
g/cm3 |
2.20 |
Young’s Modulus |
GPa |
74 |
|
Knoop Microhardness |
kg/mm2 |
540 |
|
Electrical properties |
Bulk Resistivity |
log(Ω・cm) at 200℃ |
12.5 |
Dielectric Constant |
at 1MH,R.T. |
4.0 |
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