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AQ石英玻璃系列是基於AGC長久以來在精密玻璃、精密陶瓷的研發技術中所培育出的先進材料,以高純度、高品質、高機能的特性,應用在與時俱進的半導體製程或光學元件等領域。 AQ石英玻璃系列因為使用VAD法生產,實現了降低Si-OH含有率,並擁有下述許多優異特性。

  • 不論是i-line,200nm波長以內的 KrF、ArF 、Xe準分子雷射等深紫外線,到近紅外線都具有高穿透率
  • 低Compaction/Rarefaction特性,低雙折射特性
  • 1000℃左右的高耐熱性
  • 對高功率雷射有良好的耐久性
  • 普通玻璃1/10以下的低熱膨脹係數
  • 高均質性,超高純度,及低金屬雜質含有率
  • 低OH基含有率
  • 高耐化性
  • 低損耗因素
  • 半導體製程曝光用透鏡
  • 面板製程曝光用透鏡
  • 光罩基板 
  • 其他光學元件
  • 玻璃晶圓

 

Chemical constitution

SiO2

wt(%)

100

Thermal properties

CTE

ppm/K (50 to 200)

0.6

Softening Point

1600

Annealing Point

1120

Strain Point

1060

Optical properties

Refractive Index

nD

1.46

Chemical

Acid Resistance

mg/cm2

0.000

Chemical properties

Alkali Resi

mg/cm2

0.032

Mechanical properties

Density

g/cm3

2.20

Young’s Modulus

GPa

74

Knoop Microhardness

kg/mm2

540

Electrical properties

Bulk Resistivity

log(Ωcm) at 200

12.5

Dielectric Constant

at 1MH,R.T.

4.0

 

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